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型掺杂剂并没有被激活,没有起作用。
这个问题曾困惑了科学界很久,最后也是被天野浩解决的。解决方法是用低能电子束辐照方法来获得p-GaN。
这个方法的发现,天野浩也是耗时很久。他从86年起就一直在尝试,直到89年,才突然碰运气得到。
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在这个步骤上,中村大侠的“二”病再此发作!
他再次推翻了前面科学家的研究成果,改为加热!
这也就是所谓退火工艺的由来。
根据中村自己的解释,他是在非常偶然情况下,得到了这个意外结果。
在重复电子束照射实验前,他不小心把工作台给加热了!于是,他就发现,在电子束辐照过程中,在样品下面加热可以获得更好的结果。