第340章 (第2/2页)
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“理论上是这样。”郑昊点了点头，随即话锋一转，“但魔鬼，全在细节里。”
他拿起一张纸和笔，在上面画了一个示意图。
“第一个魔鬼，叫定向。单晶硅是各向异性的，不同晶向的物理和化学性质完全不同。我们后续的工艺，比如腐蚀，都是基于特定的晶向来进行的。所以，在切割之前，我们必须用X射线衍射法，精确地找到它的<111>晶向，并沿着这个方向切割。这个过程，不能有丝毫偏差。”
周煜立刻意识到了问题的关键：“我们的X射线衍射仪精度不够，而且操作复杂，要做到批量化的精确定向，很难。”
“第二个魔鬼，叫切割。”郑昊继续画着，“我们用的不是普通的金刚石锯片，而是一种内圆切割机。刀片是环形的，金刚石刃口在内圈。这样切割时，刀片的张力可以保证极高的切割精度和稳定性。但是，这种刀片，我们国家造不出来。它的厚度只有零点几毫米，对应变和材料要求极高。”
“第三个魔鬼，叫研磨和抛光。”郑昊的声音愈发凝重，“切割下来的硅片，表面会有很多刀痕和损伤层。我们需要用研磨液，进行双面研磨，把硅片的厚度误差控制在微米级别。然后，是化学机械抛光（CMP），用纳米级的二氧化硅磨料和化学腐蚀液，把硅片的一面，抛光到原子级的平整度。这个表面的粗糙度，要比我们能造出的最精密的光学镜头，还要光滑上百倍！”
一连串闻所未闻的名词和匪夷所思的技术指标，像三座大山，压在了众人心头。刚刚还轻松愉快的气氛，瞬间变得凝重起来。
原来，把一块“石头”变成一片“镜子”，竟然是如此艰难的一件事。
