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“接触”
随着钱俊杰一声令下,固定在旋转卡盘上的籽晶按照设计好的速度缓缓旋转。
坩埚炉中,伴随这籽晶的提升,在底部的单晶硅开始生长。
数据可以通过安装在卡盘上的应力传感器得知。
均匀生长的硅锭,应力应该不断增加,在监视器上的显示应该是一条线性的直线。
这条直线在允许的范围之内,可以初步断定单晶的生长均匀,不过要确认硅锭的质量,还需要一系列的复杂测试,但现在就卡在了第一步。
就在各参测人员大气都不敢出一声的时候,报警器上突然红光闪烁。
“快,停止提升”
操作人员赶紧按下控制按钮,卡盘的提升立刻停止。